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第三章采购需求中 一、采购清单

13.真空度要求：

SPM系统单元真空度≤5E-10 mbar（需提供满足真空度要求的泵组）；

Prep系统单元极限真空度：≤5E-10 mbar（需提供满足真空度要求的泵组）；

Load-lock系统单元极限真空度：≤5E-8 mbar（需提供满足真空度要求的泵组）；

13.真空度要求：

SPM系统单元真空度≤5E-10 mbar（需提供满足真空度要求的泵组）；

Load-lock系统单元极限真空度：≤5E-8 mbar（需提供满足真空度要求的泵组）；

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第三章采购需求中 一、采购清单

18.系统所包含的SPM系统单元、Prep系统单元、Load-lock系统单元，腔体材质为304不锈钢，腔体经电解抛光及高温除氢处理。

18.系统所包含的SPM系统单元、Load-lock系统单元，腔体材质为304不锈钢，腔体经电解抛光及高温除氢处理。

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第三章采购需求中 一、采购清单

19. 系统所包含的样品台，可进行运动：Z轴 100 mm，轴向旋转 ±180°；电子束加热：最高温度不低于1000 ℃。

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第三章采购需求 中 三、付款方式

国产设备及境内直接供货的进口设备：货到经用户验收合格后凭用户出具的验收报告支付100%货款。

货款由需方负责支付，需要供方开具增值税专用发票，开票信息如下；

抬头：浙江大学

纳税人识别号：12100000470095016Q

地址：杭州市余杭塘路866号，电话88981919

开户行：中国农业银行杭州市浙大支行紫金港支行

账号：19 0422 0104 0000 014

行号：103331004223

国产设备：

合同签订后，采购人支付合同总价30%预付款;

中标人完成本设备的设计方案，开始投料生产后通知采购人，采购人支付合同总价的 30%;

设备送达采购人指定地点后，采购人支付合同总价的30%;完成验收后，采购人支付合同总价的10%。

货款由需方负责支付，需要供方开具增值税专用发票，开票信息如下；

抬头：浙江大学

纳税人识别号：12100000470095016Q

地址：杭州市余杭塘路866号，电话88981919

开户行：中国农业银行杭州市浙大支行紫金港支行

账号：19 0422 0104 0000 014

行号：103331004223

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第一章 公开招标公告 中 四、提交投标文件截止时间、开标时间和地点

提交投标文件截止时间：2025年10月14日09点30分（北京时间）

开标时间：2025年10月14日09点30分（北京时间）

地点：杭州市拱墅区大关路179号远洋国际A座17楼开标室一。

提交投标文件截止时间：2025年10月27日09点30分（北京时间）

开标时间：2025年10月27日09点30分（北京时间）

地点：杭州市拱墅区大关路179号远洋国际A座17楼开标室一。