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更正后内容

2. 软硬件系统

2.1. 分析站：不少于2个工作站，每个工作站配备独立可升降杜瓦瓶；不少3个分析站，每个分析站可独立进行脱气或测试操作，且每个分析站同时能进行不同吸附质的测试分析（提供仪器图片证明，附于技术偏离表后）；

2.1.工作站和分析位：不少于2个工作站（一个杜瓦瓶为一个工作站），每个工作站配备独立可升降杜瓦瓶；不少3个分析位（一个样品管为一个分析位），其中微孔分析位不少于2个，每个分析位可独立进行脱气或测试操作，每个分析位能够实现独立进气，具有独立P0（提供仪器图片证明，附于技术偏离表后）；

2.3. 真空系统：脱气站和分析站各配有独立的真空系统，其中脱气站为一个进口双级机械泵；分析站配有一个进口双级机械泵和一个进口涡轮分子泵，极限真空度小于10-10mmHg；真空泵采用外置形式，避免真空泵产生的震动影响仪器的气密性；

2.4. 分析站压力传感器：不少于9个传感器，每个分析站配有3个独立传感器（1000 Torr、10 Torr和0.1 Torr）;

2.3. 真空系统：脱气站和工作站各配有独立的真空系统，其中脱气站为一个原装进口双级机械泵；工作站配有一个原装进口双级机械泵和一个原装进口涡轮分子泵，极限真空度小于10-10mmHg；真空泵采用外置形式，避免真空泵产生的震动影响仪器的气密性；

2.4. 压力传感器：不少于9个压力传感器，其中每个分析位配有3个独立传感器（1000 Torr、10 Torr和0.1 Torr），所用传感器皆为原装进口；

2.8. 供气系统：仪器应配有不少于6个进气口，以进行不同气体分析时无需更换气瓶，可分析吸附质包括N2、Ar、CF4、C2F6、SF6等气体；供气管路材质均为不锈钢，具有较好的抗腐蚀性能；

2.8. 供气系统：仪器应配有不少于6个进气口，以进行不同气体分析时无需更换气瓶，可分析吸附质包括N2、Ar、CF4、C2F6、SF6等气体；供气管路材质均为不锈钢，具有较好的抗腐蚀性能；每个分析位可以实现独立供气；