项目名称:高真空电子束蒸镀系统、钙钛矿分析显微镜、手套箱采购项目
项目编号:CLF(略)SZ(略)QY(略)
一、项目联系方式:
项目联系人:(略)
项目联系电话:(略)
二、原公告名称及地址时间等:
首次公告日期:(略)
本次变更日期:(略)
原公告项目名称:(略)
原公告地址:(略)
三、更正事项、内容:
/
四、其它补充事宜:
广东采联采购科技有限公司于(略)年9月2日在中国政府采购网(www.ccgp.gov.cn)、深圳政府采购网(http:(略)
一、变更内容
(一)原招标文件第四章用户需求书第四项技术参数(一)镀膜机第4、6、7、8、(略)点:
“4、▲前级干泵加低温泵真空系统。低温泵对水汽抽速不小于(略)升/秒,(略)分钟以内抽进(略)-4Pa,极限真空度优于3 × (略)-7 Torr。系统总漏率不大于5x(略)-9mbar.L/s,系统在原厂组装并经过氦质谱检漏。常规的真空规系统:(略)
6、样品托盘6寸硅片向下兼容,提供两套装载盘;坩埚容量:(略)
7、▲电子枪功率大于等于(略)KW。电子枪有气动的挡板。
8、样品可公转,转速可调节,样品最高转速大于等于(略)rpm;可提供样品背部加热,最高温度大于等于(略)度,温度均匀性<5%。
(略)、以铝或者钛为测试材料时,镀膜5K,采用圆周与中心五点测量法,直径4英寸样品金属膜的厚度均匀性低于3%。提供膜厚测试报告,并在厂验时安排测试。”
变更为:
“4、▲前级干泵加低温泵真空系统。低温泵对水汽抽速不小于(略)升/秒,(略)分钟以内抽进(略)-4Pa,极限真空度优于3 × (略)-7 Torr。系统总漏率不大于5x(略)-9mbar.L/s,系统在原厂组装并经过氦质谱检漏。常规的真空规系统:(略)
6、样品托盘3吋以下兼容,提供两套装载盘;坩埚容量:(略)
7、▲电子枪功率大于等于6KW。电子枪有气动的挡板。
8、样品不旋转;可提供样品背部液态氮冷却。
(略)、以铝或者钛为测试材料时,镀膜5K,采用圆周与中心五点测量法。提供膜厚测试报告,并在厂验时安排测试。”
(二)原招标文件第四章用户需求书第四项技术参数(一)镀膜机第(略)点“(略)、机器必须含有离子辅助系统。离子源阳极功率大于等于(略)W,控制功率大于等于(略)W。”与第(略)点“(略)、工件盘可加热,数显温控仪控温,最高温度(略)℃。”整条删除。
(三)原招标文件第四章用户需求书第五项商务要求(二)免费保修期内售后服务要求:
“1、免费保修期货物免费保修期3年,时间自验收合格并交付使用之日起计算。在质保期内,免费维修与更换所有零配件。中标人需每年定期免费提供软件升级及硬件维护等服务。”
变更为:
“1、免费保修期货物免费保修期1年,时间自验收合格并交付使用之日起计算。在质保期内,免费维修与更换所有零配件。中标人需每年定期免费提供软件升级及硬件维护等服务。”
招标文件如涉及上述内容的亦作相应修改。如原招标文件与本文有不符之处,以本文为准。招标文件未变更部分,仍按原招标文件执行。
特此公告。
二、投标(响应)截止时间:(略)
三、联系事项
(一)采购代理机构:(略)
地址:(略)
联系人:(略)
联系电话:(略)
邮编:(略)
邮箱:(略)
(二)采购人:(略)
地址:(略)
联系人:(略)
联系电话:(略)
邮编:(略)
特此公告。
发布人:(略)
发布时间:(略)
五、联系方式:
采购单位名称:(略)
采购单位地址:(略)
采购单位联系方式:(略)
采购代理机构全称:(略)
采购代理机构地址:(略)
采购代理机构联系方式:(略)