甬江实验室采购高密度等离体子刻蚀机等一批设备项目的单一来源采购公示

发布日期：2023-08-28

一、项目信息

采购人：甬江实验室

项目名称：甬江实验室采购高密度等离体子刻蚀机等一批设备项目

拟采购的货物或服务的说明：

标的名称：高密度等离子体刻蚀机、金属刻蚀机、离子注入机、磁控溅射（PZT）

数 量：各1套

拟采购的货物或服务的预算总金额：15亿日元（7469.1万元)

采用单一来源采购方式的原因及说明：甬江实验室因开展研究工作需要，采购高密度等离子体刻蚀机、金属刻蚀机、离子注入机、磁控溅射（PZT）各一套。目前仅有爱发科离子注入机配备可自动调整衬底温度的LT/LN smart cut样品台，并可控制衬底上下两侧温差≦50℃，可防止LN/LT wafer加工时破片现象，保证工艺稳定性。其次，也仅有其可兼容8英寸向下兼容的LN/LT/SiC/Si多种材料的smart cut工艺，可自动上下片，兼容性较强。同时仅有爱发科高密度等离子体刻蚀机可以实现LN film on Si刻蚀角度≥85°，LN衬底刻蚀可以实现刻蚀角度≥80°，并兼容Si/SiO2/SiNx等材料高质量刻蚀。此外，爱发科也可提供磁控溅射（PZT）设备，仅有该设备可实现PZT低温（≦500℃）成膜的同时保证薄膜的高沉积速率（≥3.8μm/h）、高性能及高可靠性（介电常数e31.f≧14C/m2，击穿电压≥|-150V|，经时介电层击穿（TDDB）≧2×106 h），并搭配爱发科PZT刻蚀设备，形成全套的PZT压电器件加工解决方案，仅有该方案可实现针对PZT蚀刻工艺配置专用处理，且可兼容金属刻蚀（Cr、W、Al、Pt、TiO2/Ti、TiN、AlN）。同时，该设备配置静态磁体，清洁星形电极，提升刻蚀工艺稳定性。为了科研需要，能够采购到同时符合研究工作需求的4套设备，故需向ULVAC，Inc.拟单一来源采购4套设备。

二、拟定供应商信息

名称：ULVAC，Inc.

地址：日本神奈川县茅崎市荻园2500

三、公示期限

2023年08月28日至2023年09月04日

四、其他补充事宜

1.本项目公告期限为5个工作日，供应商对该项目拟采用单一来源采购方式及其理由和相关需求有异议的，可以在公示期限内（截止时间为本公示发布之日后的第6个工作日），以书面形式向采购人或代理机构提出异议。

2.无

五、联系方式

1.采购人信息

名 称：甬江实验室

地 址：宁波市镇海区慈海南路1792号

联系人：孙老师

电话：0574-86261579

2.代理机构：浙江中创招投标有限公司

名 称：浙江中创招投标有限公司

地 址：宁波市海曙区环城西路北段225号真如中心15楼

联系人：吴盛霞、滕家辉、李晶

传真：0574-87179089

电子邮箱：tender08@126.com

专家论证意见附件详见链接：https://zfcg.czt.zj.gov.cn/luban/detail?parentId=600007&articleId=6pQif1018KgrClvx5kUT4g==&utm=app-announcement-front.33fe0b1c.0.0.c6c41350459011ee9e520dbcd2c2d2b4