一．采购人名称：之江实验室

二．单一来源编号：ZJLAB-FS-QT2023004

三．采购项目名称：

光学神经网络计算芯片202304定制化有源硅光流片服务

四．采购项目概况：

序号：1

项目名称：光学神经网络计算芯片202304定制化有源硅光流片服务

数量：1

单位：项

预算金额： 85万元人民币

简要规格描述：

1. 标准无源工艺：含70nm、60nm、90nm三次硅刻蚀工艺；可制作热电极；

2. 标准无源工艺：6种硅波导掺杂工艺、金属电极工艺、高速Ge/Si探测器工艺；

3. 探测器性能：带宽≥26GHz，响应度≥0.8 A/W；

4. 端面耦合器损耗：≤ 2.0 dB；

5. 芯片数量：≥10片；

6. 回片周期：≤8个月；

7. 最近批次：≤2个月；

8. 芯片面积：≥85mm2

五．拟采用的采购方式：单一来源采购方式

六．申请理由：

全光计算芯片试制、评测与平台课题目前已经完成前期芯片研制平台的规划，开展了输入端的仿真设计和硅基波导的工艺开发。

按照项目实施计划，将在今年后期完成输入端16x16光栅阵列以及25万衍射神经网络计算芯片的设计，主要涉及到光栅阵列组成的输入端、衍射神经元以及MZI调制器等有源器件的制备。目前已经完成初步设计，但下一步设计需考虑器件加工的工艺水平，考虑到工艺的可靠性以及回片时间，需对仿真设计的器件进行初步验证，需在近期进行定制化流片。

七．拟定供应商：

1、拟定供应商名称

Advanced Micro Foundry Pte Ltd (AMF)

2、拟定供应商地址

11 Science Park Road Science Park 2 Singapore 117685

八．论证专业人员信息及意见：

专业人员姓名：樊中朝

专业人员工作单位：中科院半导体研究所

专业人员职称：研究员

专业人员姓名：陆生礼

专业人员工作单位：东南大学

专业人员职称：教授

专业人员姓名：程秀兰

专业人员工作单位：上海交通大学

专业人员职称：研究员

具体论证意见：

此次有源硅光流片用于验证光计算集成芯片收发端可行性，根据器件设计需求，流片工艺需要满足探测器带宽26GHz以上以及端面耦合损耗低于2dB/facet的硅基无源/有源器件工艺，并提供满足本项目性能需求的PDK器件。

本次调研了国内外主流硅光流片公司：AMF、CompoundTEK、IMEC、AIM、GlobalFoundries以及CUMEC，但AIM、GlobalFoundries不提供国内的MPW流片,IMEC流片周期在1年以上。项目组前期已在CompoundTEK进行流片（目前未回片），但CompoundTEK端面耦合损耗不满足≤2dB/facet要求，CUMEC现有MPW工艺探测器带宽只有20GHz，同时端面耦合损耗在2.5dB/facet以上无法满足本项目需求。

之江实验室其它课题组已在AMF进行过完整晶圆的有源流片、多项目晶圆有源流片及测试，有源工艺达到项目指标。其满足低损耗的端面耦合（＜1.5dB/facet），高速探测器及多种掺杂工艺需求。

综上，AMF流片厂商是目前唯一符合需求的供应商。

注：AMF公司在国内没有代理商，直接从厂商进口采购。

经专家组讨论，一致认为本次申请理由充分、合理，同意采用单一来源采购。

九．其它事项：

本项目公告期限为5个工作日，供应商对该项目拟采用单一来源采购方式及其理由和相关需求有异议的，可以在公示期限内（截止时间为本公示发布之日后的第6个工作日），以书面形式向采购人提出异议。

十．联系方式

采购人名称：之江实验室

联系人：柳老师

联系电话：0571-56393505

地址：浙江省杭州市文一西路1818号之江实验室