一．采购人名称：

之江实验室

二．单一来源编号：

ZJLAB-JZ-DY2021007

三．采购项目名称：

定制有源CMOS芯片

四．采购项目概况：

序号：1

项目名称：定制有源CMOS芯片

数量：1

单位：套

预算金额：170万元人民币

简要规格描述：能够实现热电极、掺杂电极、双层高精度SiN、交叉刻蚀、悬臂梁等SSC工艺，其中双层SiN需要与III/V键合结构兼容

五．拟采用的采购方式：

单一来源采购方式

六．申请理由：

之江实验室大规模光交换芯片项目为完成256端口电光交换芯片研制的前期验证，需要实施硅光CMOS流片，要求必须能够在2021年中旬完成CMOS工艺，实现高性能单元器件的工艺制作。其中具体的工艺包含：基本有源工艺、热电极、掺杂电极、双层SiN波导、交叉刻蚀、悬臂梁SSC工艺等。

七．拟定供应商：

1、拟定供应商名称

Advanced Micro Foundry Pte Ltd (AMF)

2、拟定供应商地址

11 Science Park Road Science Park 2 Singapore 117685

八．论证专业人员信息及意见：

专业人员姓名：李宇波

专业人员工作单位：浙江大学

专业人员职称：副教授

专业人员姓名：王霆

专业人员工作单位：中国科学院物理所

专业人员职称：副研究员

专业人员姓名：张建军

专业人员工作单位：中国科学院物理所

专业人员职称：研究员

具体论证意见：

2021年3月1日，之江实验室组织专家就定制有源CMOS芯片采购进行单一来源采购论证，论证专家组听取了该设备采购项目的汇报，就相关问题进行了质询，在各位专家独立评价的基础上，经充分讨论，形成如下论证意见：

之江实验室大规模光交换项目为完成256端口电光交换芯片研制的前期验证，需要实施硅光CMOS流片。项目要求必须能够在2021年中旬完成光交换阵列中高性能单元器件的制作，必须能够实现标准有源工艺、双层高精度SiN波导、交叉刻蚀、悬臂梁SSC、SiO2刻蚀等工艺。

通过对多家主流流片代工厂的流片技术论证及价格对比，结合项目的时间与指标的考量，同时考虑之前在AMF做过基本元器件的流片验证，为确保工艺有延续性。经专家组讨论，获得一致意见，同意AMF作为本次有源CMOS流片采购的唯一供应商。

注：AMF公司在国内没有代理商，直接从厂商进口采购。

经专家组讨论，一致认为本次申请理由充分、合理，同意采用单一来源采购。

九．其它事项：

本项目公告期限为5个工作日，供应商对该项目拟采用单一来源采购方式及其理由和相关需求有异议的，可以在公示期限内（截止时间为本公示发布之日后的第6个工作日），以书面形式向采购人提出异议。

十．联系方式

采购人名称：之江实验室

联系人：柳老师

联系电话：0571-56393505

地址：浙江省杭州市文一西路1818号之江实验室

按照客观、公正、公开的原则，本条信息受业主方委托独家指定在中国建设招标网 www.jszhaobiao.com 发布