上海机电设备招标有限公司受招标人委托对下列产品及服务进行国际公开竞争性招标，于2020-10-16在中国国际中国建设招标网公告。本次招标采用传统招标方式，现邀请合格投标人参加投标。1、招标条件项目概况:中芯集成电路制造（绍兴）有限公司计划为中芯绍兴特种晶圆工艺生产线购买一批设备资金到位或资金来源落实情况:现招标人资金已到位项目已具备招标条件的说明:具备了招标条件2、招标内容招标项目编号:0613-204522154268/10招标项目名称:中芯绍兴特种晶圆工艺生产线项目第三十批--基于TEOS的化学气相沉积项目实施地点:中国浙江省招标产品列表(主要设备):

序号	产品名称	数量	简要技术规格	备注
1	低压多晶硅生长机	1	利用SIH4和PH3 共同做一下生成多晶硅薄膜层	/
2	低压退火设备	1	实现鼓状晶圆快速退火，修复表面晶格损伤，均匀性好	/
3	硼磷氧化扩散炉	1	实现硼磷氧化扩散，均匀性好	/
4	氮化硅生长机	1	实现氮化硅生长，均匀性好	/
5	非掺杂多晶硅生长机	1	实现非掺杂多晶硅生长，修复表面晶格损伤，均匀性好	/
6	氧化物薄膜生长机	3	设备通过反应生成氧化SIO2薄膜层	/
7	栅氧化薄膜生长机	2	设备通过反应生成氧化SIO2薄膜层	/
8	基于硅烷的氧化物/氮化物/抗反射层设备	1	PEOX/SIN/DRAC Dep	/
9	基于硅烷的氧化物/氮化物设备	1	PEOX/SIN Dep	/
10	基于TEOS的化学气相沉积	1	TEOS Dep	/
11	次常压化学气相沉积	1	SACVD Dep	/
12	次常压化学气相沉积	1	SACVD Dep	/
13	离子束去平机	1	金属膜离子束去平	/
14	高真空离子镀膜金属溅射机	1	AIN & Mo Metal Dep	/
15	物理气象沉积机	1	物理气象沉积/Metal Dep	/
16	光刻胶烘烤设备	1	实现光刻胶烘烤	/
17	光刻显影设备	1	实现光刻显影	/
18	光刻涂布设备	1	实现光刻涂布	/

3、投标人资格要求投标人应具备的资格或业绩:1）具有独立的法人资格，相应的经营范围。投标方应具有正规注册的办事处、维修站及零备件保税库。在中国境内应有专门负责的经验丰富的维修工程师和专门的技术应用支持工程师。 2）投标人提供的设备需要在业界有安装使用的经验 。是否接受联合体投标:不接受未领购招标文件是否可以参加投标:不可以4、招标文件的获取招标文件领购开始时间:2020-10-16招标文件领购结束时间:2020-10-23是否在线售卖标书:否获取招标文件方式:现场领购招标文件领购地点：上海市长寿路285号恒达大厦16楼上海机电设备招标有限公司招标文件售价:￥500/$805、投标文件的递交投标截止时间（开标时间）:2020-11-06 09:30投标文件送达地点:上海市长寿路285号恒达广场22楼开标地点:上海市长寿路285号恒达广场22楼6、投标人在投标前应在必联网（https://www.ebnew.com）或机电产品招标投标电子交易平台（https://www.jszhaobiao.com）完成注册及信息核验。7、联系方式招标人:中芯集成电路制造（绍兴）有限公司地址:中国浙江省绍兴市越城区皋埠镇临江路518号联系人:李晓玲联系方式:0575-88060000-62339招标代理机构:上海机电设备招标有限公司地址:上海市长寿路285号恒达大厦16楼联系人:王鼎 应秋祺 潘永亮联系方式:021-325577218、汇款方式:招标代理机构开户银行(人民币):招标代理机构开户银行(美元):账号(人民币):账号(美元):