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科研平台专用高效镀膜设备用晶圆机械手(XF-WSBX-2500455)采购公告

所在地区: 浙江-- 发布日期: 2025年9月28日
招标采购正文
项目名称科研平台专用高效镀膜设备用晶圆机械手项目编号XF-WSBX-2500455
公示开始日期2025-09-28 10:54:45公示截止日期2025-10-05 12:00:00
采购单位浙江大学付款方式货到付款,甲方在到货验收后15日内向乙方一次性支付本项目的总额
联系人中标后在我参与的项目中查看联系电话中标后在我参与的项目中查看
签约时间要求成交后2个工作日内到货时间要求成交后30个工作日内
预算¥200,000
供应商资质要求

符合《政府采购法》第二十二条规定的供应商基本条件

收货地址玉泉校区微电子楼超净实验室108
采购清单1
采购物品是否允许进口采购数量计量单位所属分类
科研平台专用高效镀膜设备用晶圆机械手否1台电子工业生产设备
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品牌
规格型号
预算\t¥200,000\t
技术参数1.运动控制精度与稳定性1)重复定位精度:±0.1mm以内;2)S曲线加减速控制方式能够高速,高精度地搬运半导体晶圆。2.材料与环境适应性1)真空环境:1.33×10-6Pa2)洁净度要求:ISO CLASS2以上;3)温度:真空腔体内常温;3.结构设计与负载能力1)在下图黑色框区域内手臂回转,机械手指从出料口取片,通过上料口运送至行程840mm的指定位置。手臂伸出距离840mm,干涉范围600mm,旋转范围330°,Z轴行程40mm。2)负载能力可搬运质量:1kg,并提供定制手指。
售后服务服务网点:当地;电话支持:7x24小时;质保期:1年;服务时限:报修后2小时;商品承诺:原厂全新未拆封正品;

浙江大学

2025-09-28 10:54:45

按照客观、公正、公开的原则,本条信息受业主方委托独家指定在中国建设招标网 www.jszhaobiao.com 发布

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