原子层沉积系统（XF-WSBX-2500283）采购公告

2025-07-03 浙江--

导出Word 导出PDF 收藏打印

所在地区：

浙江--

发布日期：

2025年7月3日

招标采购正文

项目名称	原子层沉积系统	项目编号	XF-WSBX-2500283
公示开始日期	2025-07-03 14:59:09	公示截止日期	2025-07-10 16:00:00
采购单位	浙江大学	付款方式	货到付款，甲方在到货验收后15日内向乙方一次性支付本项目的总额
联系人	中标后在我参与的项目中查看	联系电话	中标后在我参与的项目中查看
签约时间要求	成交后30个工作日内	到货时间要求	成交后90个工作日内
预算	￥405,000
供应商资质要求	符合《政府采购法》第二十二条规定的供应商基本条件
收货地址	浙江大学紫金港校区开物苑3幢负一层地下实验室

采购清单1

采购物品	是否允许进口	采购数量	计量单位	所属分类
原子层沉积系统	否	1	台	电子工业生产设备

\t \t \t \t

品牌	迈纳德
规格型号	MNT-S100Oz-L3
预算	\t ￥405,000\t
技术参数	1\t配置及组成1)\t1套热型原子层沉积系统主机2)\t1套4寸反应腔3)\t1套常温液源输送系统4)\t2套加热源管路5)\t1套臭氧源系统6)\t1套真空系统7)\t1套备品备件2\t设备主机规格1)\t适用于4英寸以及小尺寸样品薄膜沉积2)\t设备本底真空优于3 Pa，设备漏率≤ 5×10-10 Pa·m3/s；3)\t控制方式：PLC+触摸屏4)\t多种沉积模式：快速模式、充分暴露模式和多元掺杂模式3\t反应腔系统：1)\t反应腔材质为316L不锈钢，底座整块材料加工，腔体表面抛光后电解；2)\t密封方式：采用燕尾槽密封并配备耐腐蚀密封圈；3)\t样品台尺寸：标准4英寸腔体，直径为100 mm；4)\t样品台加热温度最高可达400℃，采用PID控制方式，控制精度为±1℃；5)\t反应腔配备自动充气及过压保护功能；4\t前驱体源输送系统1)\t常温源1路，加热液源2路；2)\t前驱体输送管路加热温度范围RT-250℃，控制精度±1℃；3)\t常温源：配备三孔ALD阀门、源手动阀、不锈钢源瓶(50 mL)；4)\t加热源：配备三孔ALD阀门、源手动阀、不锈钢源瓶(50 mL)，源瓶温度范围RT-200℃；5)\t管路及接头均采用316 EP级电解抛光不锈钢材料，所有气体管路连接处采用金属VCR密封；载气管路采用N2或者Ar气体，通过MFC控制；配备惰性气体自清洗系统，在控制界面中可以设置自动清洗的次数。5\t臭氧源系统（和水共用1路）1)\t配备臭氧发生器、臭氧破坏器、MFC(量程0-200 sccm)；2)\t臭氧发生器产量可达20 g/h，浓度可达150g/m3；3)\t臭氧发生器采用风冷方式无需配备冷却水，尺寸不大于510510210 mm。6\t真空系统：1)\t真空泵采用双级油封式真空泵，抽速不低于14 m3/h；2)\t真空测量：配备进口压力传感器，检测范围：5*10-4-1000mbar；3)\t真空抽气管道可以烘烤至150℃，且真空泵前级配置热阱，温度范围RT-300 oC，控制精度±1℃；7\t控制系统1）\t采用高稳定性的PLC+工业触摸屏方式；触摸屏尺寸不小于15.6英寸； 2）\tPLC采用工业以太网控制方式，支持灵活扩展DeviceNet、CANopen、PROFIBUS DP等通信方式；3）\t系统可实现配方编辑、保存、读取等功能；ALD阀门及管路具备自动排空和清洗功能；4）\t系统设有高级界面，可进行温度PID参数自整定、前驱体标签修改等；5）\t系统可实时监测动力气体压力值、系统压力值、加热状态、阀门开关状态和镀膜进度，当发生异常时触发报警并做出响应，报警日志可进行回看；8\t验收指标：厂家须提供氧化铝薄膜的标准工艺配方，前驱体为三甲基铝+水，按以下内容进行现场制备与验收：薄膜均匀性：在4英寸晶圆上沉积300cycle氧化铝，以晶圆上5个均匀分散点（上、下、左、右、中心5点，边缘5mm除外）进行椭偏仪测试膜厚， 4英寸晶圆上薄膜不均匀性≤1%。
售后服务	电话支持:7x24小时;质保期:1年;服务时限:报修后2小时;商品承诺:原厂全新未拆封正品;

浙江大学

2025-07-03 14:59:09

按照客观、公正、公开的原则，本条信息受业主方委托独家指定在中国建设招标网 www.jszhaobiao.com 发布

注册会员享受贴心服务

标讯查询服务

让您全面及时掌握全国各省市拟建、报批、立项、施工在建项目的项目信息。

帮您跟对合适的项目、找对准确的负责人、全面掌握各项目的业主单位、设计院、总包单位、施工企业的项目经理、项目负责人的详细联系方式。

帮您第一时间获得全国项目业主、招标代理公司和政府采购中心发布的招标、中标项目信息。

标讯定制服务

根据您的关注重点定制项目，从海量项目中筛选出符合您要求和标准的工程并及时找出关键负责人和联系方式。

根据您的需要，向您指定的手机、电子邮箱及时反馈项目进展情况。

咨询热线：4000-156-001