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高效镀膜设备用靶枪和电源(XF-WSBX-2500262)采购公告

所在地区: 浙江-- 发布日期: 2025年6月25日
招标采购正文
项目名称 高效镀膜设备用靶枪和电源 项目编号 XF-WSBX-2500262
公示开始日期 2025-06-25 11:43:07 公示截止日期 2025-07-02 13:00:00
采购单位 浙江大学 付款方式 货到付款,甲方在到货验收后15日内向乙方一次性支付本项目的总额
联系人 中标后在我参与的项目中查看 联系电话 中标后在我参与的项目中查看
签约时间要求 成交后90个工作日内 到货时间要求 成交后90个工作日内
预算 ¥460,000
供应商资质要求

符合《政府采购法》第二十二条规定的供应商基本条件

收货地址 玉泉校区微电子楼超净实验室108
采购清单1
采购物品 是否允许进口 采购数量 计量单位 所属分类
磁控溅射靶枪 否 5 台 电子工业生产设备
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品牌 Kurt Lesker
规格型号 TMK2SFANC
预算\t ¥51,000\t
技术参数 五支溅射靶枪,靶材尺寸为2英寸圆形靶,厚度为2毫米至6.35毫米,磁吸式安装;磁极露在真空内,可便捷普通磁极和强磁极;靶头具有折弯功能,可调节角度±45°;配有气动紧凑式圆顶溅射源挡板,并且气动挡板执行机构在真空腔体内;靶枪最低工作压强可达0.5mTorr;靶头内部采用全金属密封,满足超高真空应用;电气连接接口为N型连接件-母型。
售后服务 服务网点:当地;电话支持:7x24小时;质保期:1年;服务时限:报修后2小时;商品承诺:原厂全新未拆封正品;
采购清单2
采购物品 是否允许进口 采购数量 计量单位 所属分类
自动电源靶枪切换器 否 1 台 电子工业生产设备
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品牌 Kurt Lesker
规格型号 00010431-4
预算\t ¥60,000\t
技术参数 一套靶枪-电源自动切换器,配置两个输入端口(同时输入直流和射频电源,并且同时输入时互不影响,射频通道带滤波功能)和四个输出端口,每个输出端口可兼容直流电源和射频电源的输出。输入和输出端口均为标准HN型或者UHF接口,带有DB15针通讯控制接口。
售后服务 服务网点:当地;电话支持:7x24小时;质保期:1年;服务时限:报修后2小时;商品承诺:原厂全新未拆封正品;
采购清单3
采购物品 是否允许进口 采购数量 计量单位 所属分类
磁控溅射直流电源 否 1 台 电子工业生产设备
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品牌 Kurt Lesker
规格型号 PD500X1
预算\t ¥57,000\t
技术参数 一台功率500W的直流电源。电源外形高度不超过1.75英寸,最高电压不低于1000V,最大输出电流不低于2A。功率系数> 0.98,打弧检测时间<100 nsecs,显示精度:满量程的+/- 1%;外形具有标准机柜安装尺寸,19英寸X18.25英寸X1.75英寸。
售后服务 服务网点:当地;电话支持:7x24小时;质保期:1年;服务时限:报修后2小时;商品承诺:原厂全新未拆封正品;
采购清单4
采购物品 是否允许进口 采购数量 计量单位 所属分类
磁控溅射射频电源 否 1 台 电子工业生产设备
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品牌 Kurt Lesker
规格型号 RF03A22XX300
预算\t ¥88,000\t
技术参数 一台功率为300W的RF电源,带有自动匹配器和控制器。射频频率为13.56MHz。射频电源输出功率的精度优于满量程的+/-1%或者读数的+/-3%,电源长时间输出稳定性优于+/-0.5%。输出接头N型,风冷冷却;射频电源为半个19英寸电控柜安装尺寸,带有标准19英寸电控柜安装配件,可以和控制器并排安装到标准电控柜内。外形尺寸Network 5英寸HX9英寸WX15英寸D;Controller外形尺寸3.5英寸HX9.5英寸WX12.8英寸D;Generator外形5.25英寸HX9.5英寸WX18.35英寸D。
售后服务 服务网点:当地;电话支持:7x24小时;质保期:1年;服务时限:报修后2小时;商品承诺:原厂全新未拆封正品;

浙江大学

2025-06-25 11:43:07

按照客观、公正、公开的原则,本条信息受业主方委托独家指定在中国建设招标网 www.jszhaobiao.com 发布

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