手动式单面紫外光刻机采购（XF-WSBX-2200933）采购公告

2022-12-06 浙江-杭州-余杭区

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所在地区：

浙江-杭州-余杭区

发布日期：

2022年12月6日

招标采购正文

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手动式单面紫外光刻机采购（XF-WSBX-2200933）采购公告

发布时间：2022-12-06 09:04:53阅读量：39次

项目名称	手动式单面紫外光刻机采购	项目编号	XF-WSBX-2200933
公告开始日期	2022-12-06 09:04:53	公告截止日期	2022-12-13 11:00:00
采购单位	浙江大学	付款方式	货到付款，甲方在到货验收后15日内向乙方一次性支付本项目的总额
联系人	中标后在我参与的项目中查看	联系电话	中标后在我参与的项目中查看
签约时间要求	成交后7天	到货时间要求	成交后15天
预算总价	￥ 250000.00 + NaN + NaN
发票要求	增值税普通发票增值税专用发票
含税要求
送货要求
安装要求
收货地址	浙江杭州余杭塘路866号浙江大学紫金港校区东四教学楼
供应商资质要求	符合《政府采购法》第二十二条规定的供应商基本条件
公告说明

采购清单1

采购商品	采购数量	计量单位	所属分类
手动式单面紫外光刻机	1	台	其他特种设备无无

品牌品牌1	鸿源鼎芯
型号	H19-13型4寸单面
品牌2
型号
品牌3
型号
预算单价	￥250000.00
技术参数及配置要求	一．技术参数：1．曝光类型：单面曝光；☆2．曝光面积：110×110mm；☆3．曝光照度不均匀性：≤3%；☆4．曝光强度：≥40mw/cm2可调；☆5．紫外光束角：≤2度；☆6．紫外光中心波长：365nm：7．紫外光源寿命：≥2万小时；8．曝光分辨率：1μm；☆9．曝光模式：可选择一次曝光和套刻曝光；☆10．显微镜扫描范围： Y：±30mm；11．对准范围：X、Y±5mm（移动精度0.5um），Q±5°（移动精度0.001°）12．对准精度：正面1μm；☆13．分离量；0～999μm可调；14．接触－分离漂移：≤1μm；☆15．曝光方式：硬接触、软接触和接近式曝光；☆16．找平方式：气悬浮自动找平；☆17．显微系统：视场CCD系统，显微镜45X～300X连续变倍（物镜1.1X～7.5X连续变倍），双物镜距离可调范围11mm～100mm，计算机图像处理对位软件，19″液晶监视器；18．掩模版尺寸：3″×3″、4″×4″、5″×5″；19．基片尺寸：φ2″、φ3″、φ4″；20．基片厚度：0.1～6mm；21．曝光定时：0～999.9秒可调；22．对准方式：千分尺手动XYQ对位平台（精度0.1um）☆23．镜头移动：电动；☆24. 升降方式：电动（伺服）☆25. 电源：单相AC220V 50HZ ，功耗≤1KW；26．洁净空气压力：≥0.4MPa；27．真空度：-0.07MPa~-0.09MPa；28．尺寸： 920mm（长）×680mm（宽）×2000mm（高）；29．重量：约300Kg。二．配置：本机由LED紫外曝光头、CCD显微显示系统、对准工作台、电气控制系统、备附件构成。1．曝光头：LED紫外曝光头一台。2．CCD显微显示系统：1）CCD数码摄像机二只；2）可变倍显微镜二只；3）计算机图像处理系统一套（含计算机一台、采集卡一件、19″液晶监视器一台、图像处理对位软件一套）。4）焦距、物距调节台一套；5）扫描机构一套（电动）；6）LED同轴照明光源二台。3．对准工作台；1）3″×3″、4″×4″、5″×5″版架各一件；2）φ2″、φ3″、φ4″、承片台各一件；3）气悬浮自动找平机构一套；4）高精度千分尺对位平台一套；5）高精度伺服升降装置一套;4．电气控制台：1）PLC可编程控制器一台；2）电磁阀及控制系统一套；3）气动、真空仪表一套。5．备附件：1）真空软管（φ8mm）15m；2）电磁阀二只；3）紫外光强计一只；4）无油静音真空泵一台；5）无油静音空压机一台。
参考链接
售后服务	服务网点:当地;电话支持:7x8小时;质保期:2;服务时限:报修后4小时;销售资质:协议供货商;商品承诺:原厂全新未拆封正品;

浙江大学

2022-12-06 09:04:53

竞价招标详情请到：https://www.yuncaitong.cn/publish/2022/12/06/20LBBISFG3ML92L8.shtml

按照客观、公正、公开的原则，本条信息受业主方委托独家指定在中国建设招标网 www.jszhaobiao.com 发布

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