宁波大学 - 竞价公告 (CB116462022001005)-高真空电阻蒸发镀膜设备
| 所在地区: | 浙江-宁波-江北区 | 发布日期: | 2022年9月14日 |
招标采购正文
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发布时间:2022-09-14 08:34:09 截止时间:2022-09-20 13:30:00
基本信息:
申购明细:
序号
1
采购内容
高真空电阻蒸发镀膜设备
数量
1台
预算单价
品牌
北京微纳真空技术有限公司
型号
VZZ-300
规格参数
1) 真空腔室:Φ300×H420mm
2)★ 真空极限:≤3.0×10-5Pa,2小时内;
3) ★ 抽速:分子泵完全启动,抽至3×10-4Pa≤10min
4)基片台尺寸:最大可镀基片尺寸/面积:112X112mm,可装卡15~25cm方形ITO/FTO玻璃/硅片16~25片。
5) 蒸发源及电源:2 组蒸发源,各源均有水冷且独立,可蒸镀金 属材料(舟式源/挂丝源)和有机材料(坩埚源/盒式源);真空蒸发专用电源一台;
6) 控制方式:PLC 手自动控制,触摸屏操作;
7) ★ 特别定制:掩膜板一块。
8)衬底加热组件 (室温~250oC)和 水冷系统
质保及售后服务
按行业标准提供服务
附件
按照客观、公正、公开的原则,本条信息受业主方委托独家指定在中国建设招标网 www.jszhaobiao.com 发布
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