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真空镀膜机(XF-WSBX-2200405)采购公告

所在地区: 浙江-杭州- 发布日期: 2022年9月7日
招标采购正文
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真空镀膜机(XF-WSBX-2200405)采购公告
发布时间:2022-09-07 10:10:11阅读量:36次
项目名称 真空镀膜机 项目编号 XF-WSBX-2200405
公告开始日期 2022-09-07 10:10:11 公告截止日期 2022-09-14 12:00:00
采购单位 浙江大学 付款方式 货到付款。境内供货的,甲方在到货验收后15日内向乙方一次性支付本项目的总款项。 境外供货需要由甲方办理进口减免税业务的,也必须以人民币报价,且包含货送到用户指定实验室前的所有费用。甲方指定的外贸代理公司在甲方到货验收后15日内向乙方指定的外方公司一次性支付款项。支付方式在《技术参数及配置要求》栏内另有约定的,从其约定。
联系人 中标后在我参与的项目中查看 联系电话 中标后在我参与的项目中查看
签约时间要求 到货时间要求 成交后60天
预算总价 ¥ 450000.00 + NaN + NaN
发票要求 增值税普通发票 增值税专用发票
含税要求
送货要求
安装要求
收货地址 浙江大学三门OLED产业研究中心-浙江省杭州市金色西溪1号楼1208
供应商资质要求

符合《政府采购法》第二十二条规定的供应商基本条件

公告说明
采购清单1
采购商品 采购数量 计量单位 所属分类
真空镀膜机 1 台 机电设备 无 无
品牌 品牌1
型号
品牌2
型号
品牌3
型号
预算单价 ¥450000.00
技术参数及配置要求 真空室真空室尺寸大致为500mm×600mm×650mm。真空室应装有两个可以完全打开的门,前门为快开门,打开后可以对腔体内部进行维护;后面是推拉门,可以与手套箱连接。腔体的极限真空要达到2x10-5Pa,在氮气保护下开门装卸基片和更换镀料后,重新抽真空需在10分钟内达到5x10-4Pa的真空度。基片装置六个磁力传动的旋转基片,最大尺寸为32*32mm,可自动识别的基片位置。基片架转速为0-60转/分(转速可调)。蒸镀均匀度应优于±3%。基片总挡板,气动控制,可通过触摸屏操作。蒸发源要求有14个蒸发源,其中束源炉式有机蒸发源12套,电极式金属蒸发源2套。蒸发源都应配有独立的电动挡板,可单独打开或关闭,操作在触摸屏上完成。每个源应有独立防污罩,防止源与源之间的污染。有机源加热温度均匀,寿命要超过1000小时,温度最高要能达到800℃。多源间不应有温度干扰。金属源要采用水冷电极,蒸发舟尺寸为90mm。有机蒸发电源控温精度应达到±1℃,温度调节需在触摸屏上完成。金属蒸发电源应采用百分比功率控制,操作及切换需在触摸屏上完成。膜厚测量四通道膜厚仪,应达到以下要求:QCM 输入 4测量频率范围 Adjustable: 1.0 MHz minimum,6.5 MHz maximum频率分辨率 ± 0.012 Hz频率稳定性 ± 2 ppm total, 0 to 50C厚度和速率分辨率/测量 ±0.015 ?测量周期 0.10 to 1.0 s (adjustable)存储 100 processes, 1000 layers, 50 films数字输入 5 VDC non-isolated输出信号 ± 0 to 10 VDC, 15 bits控制输出 4四个水冷膜厚探头应安装在蒸发源上方。真空系统真空分子泵应达到以下参数:抽气速(L/S) 1300压缩比 N2 >10E9, H2 >1×10E4极限压强(Pa) <5×10E-7电机转数(rpm) 24000振动值 ≤0.1μm启动时间(min) <5冷却方式 水冷水冷冷却水温度(℃) ≤20机械泵 BRV16应达到以下参数:抽气速率 m3/h 14.4极限压力(Pa) <5×10E-1电机功率(kw) 1.5电压(三项) 380所需油量(L) 1.5进气接口 KF25出去接口 KF25重量(KG) 27复合真空计,应达到大气---1x10E-5Pa的测量范围。控制系统应采用触摸屏控制,要求设备的所有操作均可在触摸屏上完成。控制内容包括:机械泵、分子泵、阀的启、停;在缺水、过流、短路、漏电、误操作、断电等情况下的报警及保护系统;基片台的旋转,基片的选择,基片总挡板的开关;蒸发源的控制,蒸发源挡板的开关。独立可更换衬板真空室应配有衬板系统,便于清洗及更换,减小真空室的污染。
参考链接
售后服务 服务网点:当地;电话支持:7x8小时;质保期:1;服务时限:报修后24小时;销售资质:协议供货商;商品承诺:原厂全新未拆封正品;

浙江大学

2022-09-07 10:10:11

竞价招标详情请到:https://www.yuncaitong.cn/publish/2022/09/07/20L7QZHP5EH6VMDL.shtml

按照客观、公正、公开的原则,本条信息受业主方委托独家指定在中国建设招标网 www.jszhaobiao.com 发布

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