公示简要情况说明：

一、 采购人名称：浙江大学温州研究院

二、 进口产品公示编号：importedProduct2022041700754690

三、 采购项目名称：半导体器件光刻系统

四、 采购组织类型：

五、 采购项目概况：

六、 符合上述采购要求的进口产品产地、品牌（一家及以上）：

七、 申请理由：半导体器件光刻系统是用于微纳器件加工中曝光微米级结构图型的核心设备，制造和维护需要高度的光学和电子工业基础，世界上只有少数厂家掌握。国产设备在分辨率、对准精度、支持基片的尺寸范围等性能上与进口设备存在较大的差距；同时，半导体器件光刻系统具有高质量的光学和曝光系统、先进的校准技术，故障率较低，使用稳定性较好，性价比高。为保证科研器件的制备，故申请采购进口产品。

八、 论证专业人员信息及意见：

专业人员对进口产品技术性能先进性、采购必要性的论证意见：进口半导体器件光刻系统具有较高的分辨率、对准精度，性能较好，可满足采购单位科研要求，国产设备无法完全满足采购单位使用要求，建议允许采购进口设备。

九、 其它事项：

1、本项目公告期限为3个工作日，供应商对该项目拟采购进口产品及其理由和相关需求有异议的，可以在公示期限内（截止时间为本公示发布之日后的第4个工作日），以书面形式向采购人及同级财政监管部门提出异议。

2、其他事项

十、 联系方式：

1、 采购人名称：浙江大学温州研究院

联系人：吕建国

联系电话：0577-85679886

传真：/

地址：浙江省温州市瓯海区凤南路26号

2、 同级政府采购监督管理部门名称：

联系人：徐先生

监管部门电话：0577-88522238

传真：/

地址：浙江省温州市瓯海区行政服务中心1号楼

附件信息:

• 半导体器件光刻系统进口论证2.pdf

  312.9 KB

• 半导体器件光刻系统进口论证1.pdf

  314.2 KB