一、项目信息

采购人：复旦大学义乌研究院

项目名称：复旦大学义乌研究院新材料新器件新装备高精尖缺制造中心二氟化氙刻蚀系统采购

拟采购的货物或服务的说明： 标项名称：二氟化氙刻蚀系统 数量：1 预算金额（元）：437000.00（不含进口关税及增值税） 单位：套 备注：

拟采购的货物或服务的预算总金额（元）：437000.00（不含进口关税及增值税）

1、该 XeF2 刻蚀系统，适用于MEMS器件Si牺牲层刻蚀。在MEMS和微纳器件的研究中具有非常重要的作用。

2、国内国际XeF2刻蚀机厂家只有用英国SPTS、英国Memsstar、日本SAMCO几家厂商。其中SPTS 和 Memsstar设备主要用于半导体工厂进行大批量生产，体积庞大，维护复杂。日本SAMCO的VPE-4F 专为实验室研发，体积较小，操作方便，并且通过脉冲进气方式精确控制刻蚀速度，节省XeF2源，具有较高的性价比，适合实验室使用。

3、复旦大学义乌研究院是浙江省新型研究机构，需要经济型XeF2刻蚀设备，市场上只有SAMCO公司的设备满足要求，建议进行单一来源采购。

二、拟定供应商信息

名称：上海罗准进出口贸易有限公司

地址：上海市长宁区延安西路2067号仲盛金融中心10楼1202室

三、公示期限

2022年3月2日至2022年3月8日

四、其他补充事宜

1.本项目公告期限为5个工作日，供应商对该项目拟采用单一来源采购方式及其理由和相关需求有异议的，可以在公示期限内（截止时间为本公示发布之日后的第6个工作日），以书面形式向采购人提出异议。 2./

五、联系方式

1.采购人信息

名 称：复旦大学义乌研究院

联 系 人：周工

联系电话：0579-85507181