浙江工业大学 - 竞价公告 (CB103372022000002)-电子束镀膜设备采购任务
| 所在地区： | 浙江-湖州-德清县 | 发布日期： | 2022年1月13日 |
招标采购正文
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发布时间：2022-01-13 15:00:56 截止时间：2022-01-19 09:00:00
基本信息：
申购明细：
序号
1
采购内容
电子束镀膜设备
数量
1
预算单价
品牌
型号
规格参数
一、主要技术指标：
（一）仪器1
1.1该设备为单源(4个坩埚)电子束镀膜 。
1.2主真空室 配置一套真空机组 及真空测量系统,1个E型电子枪 。样品台、可升降，样品台加热(500度)。设备真空系统为分子泵系统。
2.1 主真空室圆型前开门结构，前面配观察窗，真空室尺寸直径350×高500mm。
2.2 样品台安装于真空室上方，基片尺寸直径80mm，基片台加热(500度),可升降。
2.3 E型电子枪安装于真空室下方，镀膜坩埚位于基片正下方，提高效率和
均匀度。
2.3 主真空室 真空获得系统采用分子泵+机械泵+CF200超高真空手动插板阀进行抽气。
2.4 真空室组件及配备零部件全部采用优质不锈钢304不锈钢材料制造，氩弧焊接，表面处理采用电解表面钝化处理工艺。
2.5 极限真空度可达8X10-5Pa.
从大气到工作真空5X10-4Pa少于40分钟（烘干后，充干燥氮气）。
停止抽气后12小时保压小于10Pa。
质保及售后服务
按行业标准提供服务
附件
招标建议书.docx
按照客观、公正、公开的原则，本条信息受业主方委托独家指定在中国建设招标网 www.jszhaobiao.com 发布
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