宁波大学 - 竞价公告 (CB116462021002685)-磁控溅射沉积系统
| 所在地区: | 浙江-宁波-江北区 | 发布日期: | 2021年10月13日 |
招标采购正文
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发布时间:2021-10-13 14:29:48 截止时间:2021-10-19 13:30:00
基本信息:
申购明细:
序号
1
采购内容
磁控溅射沉积系统
数量
1台
预算单价
品牌
沈阳鹏程
型号
CK450
规格参数
极限真空优于:6.0.0x10-5Pa(经烘烤除气后)
真空漏率小于2.0x10-8Pa.l/S
系统短时间暴露大气并充干燥氮气后,再开始抽气,25分钟可达到6.6x10-4Pa;
停泵关机12小时后真空度:≤5 Pa
靶材尺寸:Φ75mm(其中一个可以溅射磁性材料);
永磁两支、强磁靶一支:射频溅射与直流溅射兼容,靶内有水冷;配手动挡板。3个靶可共同向下面的样品中心溅射,靶与样品距离80~130mm可调
加热区域为Φ120mmX100mm(H), 可将直径120mm基片加热最高温度 室温-600°C±1°C
质保及售后服务
按行业标准提供服务
按照客观、公正、公开的原则,本条信息受业主方委托独家指定在中国建设招标网 www.jszhaobiao.com 发布
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