公示简要情况说明：

一、 采购人名称：华中科技大学温州先进制造技术研究院

二、 进口产品公示编号：importedProduct2021091906397218

三、 采购项目名称：原子层沉积设备

四、 采购组织类型：分散采购

五、 采购项目概况：

六、 符合上述采购要求的进口产品产地、品牌（一家及以上）：

七、 申请理由：目前国内做ALD设备的厂家不是很多，并且几家公司在主要的零部件上仍然采用进口部件(高真空分子泵、脉冲气流阀等)，在关键的零部件维修上仍然存在问题， 同时虽然现在国内的几家设备生产商标明的薄膜均匀性已达到和进口厂商一样的小于1%，但是经前期验证，在薄膜较薄的时候，这个误差范围就很难保持在1%，而这一点对器件影响重大。因此，为了满足使用要求，特申请采购进口设备。

八、 论证专业人员信息及意见：

专业人员对进口产品技术性能先进性、采购必要性的论证意见：本次采购的原子层沉积系统（ALD）属于半导体薄膜制造设备，其特点在于能够以原子级别的精度来生长半导体薄膜，获得极高致密度、极高质量的薄膜，是一种可以将物质以单原子膜形式逐层地镀在基底表面的方法。虽然现在国内的几家设备生产商标明的薄膜均匀性已达到和进口厂商一样的小于1%，但是在薄膜较薄的时候，这个误差范围就很难保持在1%，而这一点对器件影响重大。因此，为了满足设备使用的性能要求，建议采购进口设备。

九、 其它事项：

1、本项目公告期限为3个工作日，供应商对该项目拟采购进口产品及其理由和相关需求有异议的，可以在公示期限内（截止时间为本公示发布之日后的第4个工作日），以书面形式向采购人及同级财政监管部门提出异议。

2、其他事项

附：进口产品论证专家名单

十、 联系方式：

1、 采购人名称：华中科技大学温州先进制造技术研究院

联系人：高先生

联系电话：13545869722

传真：/

地址：温州市瓯海区茶山街道梅泉大街1085号

2、 同级政府采购监督管理部门名称：

联系人：徐先生

监管部门电话：0577-88522238

传真：/

地址：浙江省温州市瓯海区行政服务中心1号楼

附件信息:

• 进口产品论证专家名单.pdf

  214.6 KB