公示简要情况说明：国科大杭州高等研究院物理与光电工程学院为了满足教学科研的需求，计划采购进口产品，对准式紫外纳米压印/光刻设备一套。

一、 采购人名称：国科大杭州高等研究院

二、 进口产品公示编号：importedProduct202109299343207

三、 采购项目名称：对准式紫外纳米压印/光刻设备

四、 采购组织类型：分散采购-分散委托中介

五、 采购项目概况：

六、 符合上述采购要求的进口产品产地、品牌（一家及以上）：

七、 申请理由：对准式紫外纳米压印/光刻设备兼顾一般紫外光刻和纳米压印光刻功能；具有自动楔形补偿功能，优化基片对准间距，楔形补偿压力可调节；掩模版夹具可以上下移动，保证不变焦对准；紫外纳米压印模块实现自动的压印和脱模；其掩膜光刻曝光分辨率≤0.8μm@真空接触，纳米压印分辨率≤40nm，正面对准掩膜光刻对准精度±0.5μm，紫外纳米压印对准精度±3μm，对准平台移动范围水平方向≥±5mm，倾角≥±3°，机械精度0.1μm。国产产品参数无法达到上述复杂要求。综上所述：进口产品的技术性能、参数调节、适用广度等方面均优于国内同类产品，并且部分重要的功能和参数国产设备没有或者不满足，所以计划采购进口设备。

八、 论证专业人员信息及意见：

专业人员对进口产品技术性能先进性、采购必要性的论证意见：秦春节专家意见：国科大杭州高等研究院拟采购产品对准式紫外纳米压印/光刻设备，主要用于科研、教学，技术要求上需具备：1.具备纳米压印与紫外光刻一体的结构设计。2.种类繁多的EVG掩模对准系统配置。3.对准式紫外纳米压印/光刻兼顾一般紫外光刻和纳米压印光刻功能，以及自动楔形补偿功能等等。目前国产设备不具备上述功能，因此建议采购进口产品。金立专家意见：科大杭州高等研究院拟采购产品对准式紫外纳米压印/光刻设备，用于科研、教学等目的，兼顾紫外光刻和纳米压印光刻功能，技术上要求：1.同时具备纳米压印与紫外光刻一体的设备结构设计。2.种类繁多的EVG掩模对准系统配置。3.对准式紫外纳米压印/光刻兼顾一般紫外光刻和纳米压印光刻功能。上述要求和具体参数国产设备无法满足，建议采购进口产品。董前民专家意见：国科大杭州高等研究院对准式紫外纳米压印/光刻设备是一款高端微纳制造设备，其紫外光指标为LED光源：365nm,405nm,436nm;多曝光模式：曝光分辨率0.8μm；掩膜光刻对准精度±0.5μm；纳米压印最小分辨率40nm。紫外纳米压印对准精度±3μm；对准平台移动范围水平方向≥±5mm，倾角≥±3°，机械精度0.1μm。进口产品在性能指标，参数范围适用广度等方面均优于国内同类产品，国产产品没有或不满足上述设备功能和参数，建议采购进口产品。戴振松专家意见：国科大杭州高等研究院拟采购对准式紫外纳米压印/光刻设备主要用于科研，教学。技术要求须具备：1.同时具备纳米压印与紫外光刻一体的设备结构设计。2.种类繁多的EVG掩模对准系统配置。3.对准式紫外纳米压印/光刻设备兼顾一般紫外光刻和纳米压印光刻功能。国内同类产品技术性能达不到上述要求，建议采购进口设备。孙鼎屹专家意见：拟采购产品不属于我国法律中禁止进口的产品，专家论证程序符合相关规定。

九、 其它事项：

1、本项目公告期限为3个工作日，供应商对该项目拟采购进口产品及其理由和相关需求有异议的，可以在公示期限内（截止时间为本公示发布之日后的第4个工作日），以书面形式向采购人及同级财政监管部门提出异议。

2、其他事项

十、 联系方式：

1、 采购人名称：国科大杭州高等研究院

联系人：杨陈楹

联系电话：15906620149

传真：/

地址：国科大杭高院3号楼

2、 同级政府采购监督管理部门名称：

联系人：吕先生

监管部门电话：87715261

传真：87715261

地址：杭州市中河中路152号617办公室

附件信息:

• 物光学院-对准式紫外纳米压印光刻设备-124万-专家论证意见表.pdf

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