浙江师范大学多靶磁控溅射仪（工学院）采购项目采购公告
| 所在地区： | 浙江-金华-婺城区 | 发布日期： | 2021年6月25日 |
一、项目信息
项目名称:浙江师范大学多靶磁控溅射仪（工学院）反向竞价采购项目
项目编号:2021062422302264
项目联系人:洪老师
项目联系电话:0579-82282683
采购计划文号:[2021]32857号
采购计划金额（元）:320000
预算总额（元）:
项目所在行政区划编码:339900
项目所在行政区划名称:浙江省本级
二、采购单位信息
采购单位名称:浙江师范大学
采购单位地址:金华市迎宾大道688号
采购单位联系人和联系方式:谢老师 0579-82282070
采购单位社会统一信用代码或组织机构代码:12330000470003513H
采购单位预算编码:303008
三、采购项目内容
| 序号 | 采购内容 | 品牌 | 规格型号 | 数量 | 技术参数或配置要求 |
| 1 | 多靶磁控溅射仪 | 泰克诺 | CJP500S | 1 | 1. 真空腔室：Ф500×H420mm，304优质不锈钢，前开门结构；2. 真空系统：复合分子泵+直联旋片泵+高真空阀门组合的高真空系统，数显复合真空计；3. 真空极限：6.0×10-5Pa（空载，经烘烤除气后）； 4. 漏率：设备升压率≤0.8Pa/h；设备保压：停泵12小时候后，真空≤10Pa；5. 抽速：从大气抽至5.0×10-3Pa≤15min；6. 基片台尺寸：Φ150mm范围内可装卡各种规格基片；7. 基片台旋转与加热：基片旋转：0～20转/分钟；加热:室温～500±1℃，可控可调，日本岛电PID智能温控闭环控温；8. 溅射靶：配置3套3英寸永磁共焦磁控溅射靶（溅射靶角度、高度可调）；磁控靶配有气动挡板结构；9. 各靶可独立、顺次、共同工作，采用磁控靶从下向上溅射镀膜；10. 膜厚不均匀性：≤±5%（基片台Φ100mm范围内）；11. 薄膜沉积速率稳定性可达1%以内12. 镀膜速率的理论精度可达0.01A/s13. 膜厚厚度分辨率可达0.01A14. 控制方式：PLC+触摸屏人机界面半自动控制系统；15. 报警及保护：对泵、电极等缺水、过流过压、断路等异常情况进行报警并执行相应保护措施；完善的逻辑程序互锁保护系统；16. 配件的技术参数要求：①空压机 （1台）功率（W）：550排气量（L/M）：115噪音dB(A）≤58额定流量@7Bar（L/M）：40储气罐容量(L)：22净重(kg)：23.2机箱尺寸(L/W/H)mm：410*410*520②冷水机（1台） 标准制冷量（K/H）:7310 功率（KW）：1.8 电源：380v 制冷方式：毛细管 压缩机功率（Kw）:2.64 冷凝器 风机功率（kw）：1.9 冷却风量（m3/h）:3000 蒸发器 冷冻水流量（m3/h）:1.47 水箱容量（L）：50 水泵功率（kw）:0.37 机箱尺寸（mm）：930*520*1185重量（kg）：135 |
服务要求:
1、质保期： 2 年（自验收合格之日起计算）。2、付款条件：成交方向采购方出具付款项的全额增值税专用发票，并提供国产设备证明。汇总开具增值税专用发票的，需附税控系统开具的《销售货物或者提供应税劳务清单》，并加盖单位财务或发票专用章。货物安装调试完毕，验收合格后，成交方先缴纳合同总金额5%的质保金，并提供质保金付款凭证及其他符合采购方付款流程所需其他材料的前提下，采购方在15日内一次性支付合同总价款。质保期满后，如无质量、服务投诉和索赔，质保金无息返还。。3、供货时间及地点：时间：合同签订后 40 工作日内交货并安装调试完毕地点： 浙江金华婺城区浙江师范大学 。4、售后服务、培训保障或维修响应时间：售后服务：定期回访培训保障：免费提供进校不少于15工时培训，培训次数和人员双方协商后确定，直到采购方具体操作人员能熟练使用为止。维修响应时间：2小时响应，48小时内到现场。5、验收方法及方案：按照合同规定及产品说明书进行验收。。6、特别说明：1.采购单的商品及技术参数、商务条款必须全部满足，否则采购方有权取消成交资格，由此造成的所有后果由成交供应商自行承担。2. 需签订线下合同，以线下签署的合同为准。。
报价时间:2021年06月30日 10:00-2021年07月01日 15:30
四、保证金金额、收款银行、用户名及卡号
附件信息：
按照客观、公正、公开的原则，本条信息受业主方委托独家指定在中国建设招标网 www.jszhaobiao.com 发布
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