宁波大学 - 竞价公告 (CB116462020002608)-购置光刻机
| 所在地区： | 浙江-宁波-江北区 | 发布日期： | 2020年11月18日 |
招标采购正文
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发布时间：2020-11-18 09:56:09 截止时间：2020-11-24 13:30:00
基本信息：
申购明细：
序号
1
采购内容
购置光刻机
数量
1台
预算单价
品牌
型号
1微米精度光刻
规格参数
曝光面积：4英寸，曝光波长：365nm，分辨力：1微米
对准精度：?0.8?m，掩模样片整体运动范围：X：13mm; Y:13mm
掩模尺寸：2.5英寸、3英寸、4英寸、5英寸
样片尺寸：直径?15mm--?100mm，厚度0.1mm--6mm
曝光方式：定时（倒计时方式）和定剂量，照明不均匀性： 2.5%（?100mm范围）
双目双视场对准显微镜：既可通过目镜目视对准，也可通过CCD+显示器对准，光学合像，光学最大倍数400倍，光学+电子放大800倍，物镜三对：4倍、10倍、20倍，目镜三对：4倍、10倍、20倍
掩模相对于样片运动行程：X: ?5mm; Y: ?5mm; ?: ?6o
光源平行性：1.5o
曝光光源：紫外LED光源（进口）
详细见附件。
质保及售后服务
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按照客观、公正、公开的原则，本条信息受业主方委托独家指定在中国建设招标网 www.jszhaobiao.com 发布
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