序号

项目名称

建设地点

建设单位

建设项目概况

公众参与情况

相关环保措施承诺

主要环境影响及预防或者减轻不良环境影响的对策和措施

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中欣晶圆大直径硅片外延项目

丽水南城七百秧区块D-28-5工业地块

浙江丽水中欣晶圆半导体科技有限公司

浙江丽水中欣晶圆半导体科技有限公司成立于2021年11月2日，企业看好外延片的市场发展前景，通过公开竞价竞得丽水南城七百秧区块D-28-5工业地块，地块总占地面积92659m2，拟在该地块新建厂房、仓库及附属设施，实施大直径硅片外延项目 。项目主要采用SC-1清洗、HF清洗、外延生长、检测的生产技术工艺，购置Wafer移载机、外延炉、洗净机、颗粒测试仪等国产、进口设备，项目建成后将形成年产120万片200mm半导体硅外延片和240万片300mm半导体硅外延片的生产能力

已进行公参

建设单位承诺将按照建设项目环境影响报告表及批复要求，在设计、施工、试生产及竣工验收过程中，严格落实各项环境保护对策措施，严格执行环保设施与主体工程同时设计、同时施工、同时投入使用的环保“三同时”制度。

废气：①酸性废气包含HF、硝酸，各工段废气经收集后通过支风管引至主风管，再通过主风管管道引至酸性废气洗涤塔（NaOH碱液喷淋）处理后通过15m高排气筒排放，项目拟设置2套酸性废气洗涤塔。②碱性废气为氨气，各工段废气经收集后通过支风管引至主风管，再通过主风管管道引至碱性废气洗涤塔（硫酸喷淋）处理后通过15m高排气筒排放，项目拟设置1套碱性废气洗涤塔；③企业在每台外延炉尾部均配备有尾气处理器（local scrubber）对外延废气进行处理，该部分处理设备为外延炉自带，且每台外延炉对应一个尾气处理器（local scrubber）采用两级水洗的方法对外延尾气进行处理，然后尾气通过支风管汇总，最终汇总有6个排气筒至15m以上排气筒高空排放；④天然气燃烧废气最终经8m以上烟囱高空放；⑤加强操作工人的自我防范、配备必要的劳保用品（口罩、眼镜等）以及按照规范操作等措施。⑥食堂油烟废气经处理后油烟至楼顶高空排放。

废水： 生活污水经化粪池预处理、生产废水经厂区自建的废水处理设施预处理达标后纳入园区污水管网达到《电子工业水污染排放标准》（GB39731-2020）中表1间接排放限值纳工业区污水管网，进入水阁污水处理厂统一处理。

针对项目运行产生的噪声，主要采取以下防治措施：合理布局，选用低噪声的设备和机械；在设备与基础之间安装减震材料，如橡胶、弹簧、减震垫等；风机、水泵设置隔声罩，风机设备进出口要安装消声器；定期维护设备，避免老化引起的噪声，必要时应及时更换。

项目一般废物为废渗透膜、生活垃圾收集后委托环卫部门清运处置。废汞液、污泥、危废包装容器等由企业分类收集后，委托有资质的处理单位进行处置；外运采用专门密闭车辆，防止散落和流洒。对危险废物的转移处理须严格按照国家环境保护部第5号令《危险废物转移联单管理办法》执行。